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数字式全息光栅干涉测量头

发布时间: 2022-06-01

来源: 科创项目库

基本信息

合作方式： 技术服务
成果类型： 发明专利
行业领域：
高端产业
成果介绍

我室成功研制的数字式全息光栅干涉测量头以半导体激光器作干涉光源，以高精度、小栅距的全息光栅作为测量用标尺，通过全息光栅衍射光的干涉技术实现光栅位移的测量，并用计算机完成数据采集、处理、显示、打印等功能。该测量头具有通用的标准光管直径，可以代替各种立式光学计、接触式干涉仪等类似仪器的测量光管，组成一种新型的端度测量仪器。

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