超精密小型机床
发布时间: 2022-06-01
来源: 科创项目库
基本信息
课题组在精密微细加工装备及工艺等进行了前期基础研究并取得一定的成果,自主研发设计出适用于特殊精密微细加工的超精密小型机床,分辨率达到纳米级,加工精度达到亚微米级,以及超精密小型研磨机床,实现粗糙度纳米级的镜面研磨加工。