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大直径碳化硅晶体生长工艺及设备

发布时间: 2022-05-30

来源: 科创项目库

基本信息

合作方式： 技术服务
成果类型： 新品种
行业领域：
高端产业
成果介绍

本项目研究人工生长大直径碳化硅单晶体的基本问题，开发适合于器件制造的优质碳化硅单晶的生长工艺与设备，形成一定的设备及晶体生产能力。目前，该项目组使用自行研制、具有自主知识产权的TDL16型碳化硅晶体生长设备和晶体生长工艺，已能制备直径58mm以内、长度15mm以内的6H-SiC体单晶；可以制备更大尺寸的4英寸碳化硅晶体生长设备已进入安装、调试阶段。

成果亮点
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成果资料