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使用微透镜阵列的同步移相干涉测试方法及装置

发布时间: 2022-05-24

来源: 试点城市（园区）

基本信息

合作方式： 技术转让
成果类型： 发明专利,新技术
行业领域：
高端装备制造产业,制造业
成果介绍

本发明提供一种使用微透镜阵列的同步移相干涉测试方法及装置，涉及光干涉计量测试领域，方法步骤为：首先，在泰曼式干涉测试光路中得到一对偏振方向正交的参考光与测试光；其次，使用微透镜阵列，利用波前分割的方法进行移相，光干涉信号被探测器接收，最后，对探测器得到的数据进行重新排列得到四幅移相干涉图，利用通用的四步移相算法即可恢复被测相位；本发明得到的四幅移相干涉图相对空间位置关系已知且唯一，不会产生位置匹配误差，且成本较低。

成果亮点
团队介绍
成果资料