需求发布 成果发布 科创案例库 揭榜挂帅
技术经理人 会议展览 科创联合体 项目申报
前沿动态 科技政策 院士开讲 青托工程
科技服务团 学术资源
试点城市(园区) 双创活动周
协作站点 学会服务
问题库 项目库 开源库
English
您所在的位置: 成果库 ZnO微纳米线制备方法、ZnO微纳米线压电换能元件制备方法

ZnO微纳米线制备方法、ZnO微纳米线压电换能元件制备方法

发布时间: 2022-05-23

来源: 试点城市（园区）

基本信息

合作方式： 技术转让
成果类型： 发明专利,新技术
行业领域：
其他
成果介绍

本发明公开了一种ZnO微纳米线制备方法。首先在基底上真空沉积ZnO薄膜；然后利用光刻工艺得到ZnO微纳米线。本发明还公开了一种ZnO微纳米线压电换能元件制备方法，利用上述ZnO微纳米线制备方法，再结合从上到下(Topdown)微纳加工技术，可大批量、低成本地实现高能量转换效率的ZnO微纳米线压电换能元件生产加工，且生产成品率高。本发明制备得到的ZnO微纳米线具有高的c轴择优取向和小于3%(3sigma)的均匀性，基于该ZnO微纳米线的微纳米发电机可产生足以驱动大多数微传感器和微LED照明所需要的功率。

成果亮点
团队介绍
成果资料