本发明公开了一种一种含W低活化高熵合金薄膜及其制备方法。其特征在于利用共溅射和交替溅射沉积(TiVCr)100xWx高熵合金和单相W层,形成具有不同单层厚度(TiVCr)100xWx/W纳米多层结构,其中(TiVCr)100xWx层中掺杂不同的W含量,W单层中通过层厚可调节αW和W,通过不同相的组合、界面强化以及固溶强化,获得具有优异力学和物理性能的含W的低活化高熵合金材料。本发明方法操作简单,重复性好,清洁无污染,所制备薄膜表面平整,膜厚均匀,具有低活化,高热稳定性,抗辐照损伤等性能优势,相比TiVCr单相薄膜性能显著提升,具有良好的应用前景。