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一种灵敏的湿度传感器材料的制备方法

发布时间: 2022-05-18

来源: 试点城市（园区）

基本信息

合作方式： 技术转让
成果类型： 发明专利,新技术
行业领域：
其他
成果介绍

本发明涉及一种灵敏的湿度传感器材料的制备方法。该方法利用溶胀介孔化的嵌段共聚物为模板，经原子层沉积(ALD)技术制备三维的介孔氧化物薄膜，从而制备出具有高灵敏度的湿度传感器。主要包括以下具体步骤：(1)两亲性嵌段共聚物经微相分离、选择性溶剂溶胀后，制备出具有三维网络状孔结构的有机模板；(2)将溶胀介孔化的有机模板放在反应腔体中，依次往反应室中通入金属源前驱体、氮气、水蒸气、氧化前驱体；(3)通过调节沉积循环次数，精确控制沉积层的厚度；(4)将ALD沉积后的有机模板，在高温下煅烧，以去除有机模板，制备三维的介孔氧化物薄膜。本发明工艺简单，过程高度可控。

成果亮点
团队介绍
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