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一种大面积氧化锌纳微发电机的制造方法

发布时间: 2022-05-17

来源: 试点城市（园区）

基本信息

合作方式： 技术转让
成果类型： 发明专利,新技术
行业领域：
其他
成果介绍

一种大面积ZnO纳微发电机的制造方法，在衬底上沉积Au电极；旋涂光刻胶，形成Y方向的光刻胶纳微米线结构；通过离子束刻蚀刻蚀掉没有光刻胶保护的Au电极材料，然后沉积硬掩膜材料氧化铝，刻蚀掉侧壁的氧化铝材料，以暴露光刻胶；用丙酮剥离掉光刻胶及上面的Al2O3，利用溶胶凝胶法沉积ZnO薄膜；用离子束刻蚀和丙酮进行光刻胶剥离形成ZnO纳米线；旋涂光刻胶，经曝光和成型后露出两端的ZnO纳米线；利用电子束蒸发沉积Pt电极；用丙酮剥离掉光刻胶，刻蚀去除Al2O3，压电纳米发电机结构；暴露压电纳米发电机到振动源，产生压电转换和纳微压电发电。达到低成本、高机械能?电能转化纳米发电机的大面积可控生产和加工。

成果亮点
团队介绍
成果资料