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.脉冲电子源用大电流高电流密度碳纳米管冷阴极技术

发布时间: 2022-04-24

来源: 科技服务团

基本信息

合作方式： 作价入股
成果类型： 实用新型专利
行业领域：
新材料产业,制造业
成果介绍

场发射冷阴极电子源真空器件具有结构简单、响应快、频率高、功耗低和工

作温度区间宽等特点，有望实现真空微电子器件频率和功率的突破以及整体性能

的提升。本单位在碳纳米管冷阴极制备及检测领域拥有雄厚的研究基础，在 863

计划项目及国家自然科学基金的资助下，课题组成功解决了阴极附着力与电接触

差及不耐高压的难题，实现了大电流高电流密度阴极的制备，其优异性能满足 X

射线管、功率器件等微电子真空器件应用要求。 

成果亮点
团队介绍
成果资料