柔性集成加速度传感器件
发布时间: 2022-04-07
来源: 科创项目库
基本信息
航空航天结构中有着大量的非可展等复杂曲面,这种特殊曲面的加速度精确测量成为实际应用结构振动分析中的难点。基于柔性聚合物基体的加速度传感器件,能够摆脱传统器件无法与复杂曲面紧密结合的困难,实时测量曲面结构中关键部位的加速度信息。
这种新型可延展柔性加速度传感器件基于可延展柔性基体,其中加速度传感元件和可拉伸导线组成的电路集成在柔性基体上,在系统受到外加大变形作用时,加速度传感元件不受载荷作用,而可拉伸导线与基体材料耦合变形,导线受到应变作用。在设计好的可延展柔性导线基础上,制备金属导线薄膜,进行光刻和刻蚀过程,得到厚度较薄的金属导线和其封装形式,将制备好的电路和商用加速度传感器集成在可延展柔性基体上。将该器件贴附在振动结构上,针对不同振动频率情况的加速度信息读取信号进行分析,基于滤波理论,去掉噪声等外界环境的影响,提取正确的加速度信息。
本样件基于转印技术,通过柔性连线力学设计,集成具有加速度功能的柔性电子器件,将该器件贴附于航空航天典型结构,实时监测结构振动时的加速度响应,为航空航天结构振动中复杂曲面测量提供新途径。