科创中国

本项目定位于新一代半导体氧化物薄膜材料的MEMS传感器的产业化。该材料具有优良的压电特性以及宽禁带、机电耦合系数高、耐电击穿能力强、压电系数高等优异性能，而且还能够良好的兼容MEMS工艺，在高温下也能够保持压电性能，使其在MEMS压电式半导体器件领域有着极为宽广的应用前景。开发了国际首台适用于大规模、高质量、低成本氧化物材料制备的可量产的MOCVD设备，在设备设计及工艺调试上处于国内领先地位。采用MOCVD生长技术实现氧化物薄膜的高效制备，属国内首创。

团队负责人：王钢，中山大学教授，博士生导师，2001年日本国立名古屋工业大学取得工学博士学位。2001年至2004年，就职于(株)富士通量子器件公司。2004年归国后先后担任科技部“十一五”、“十二五”国家863计划“半导体照明工程”重大项目总体专家组成员，入选教育部新世纪人才，现在任中山大学佛山研究院院长，中山大学光电材料与技术国家重点实验室“宽禁带化合物半导体材料及器件”研究方向负责人，集成电路科学与工程一级博士授权点（拟）“集成电路部件与装备应用”方向学术带头人。