科创中国
超声雾化喷涂
发布时间: 2022-03-15
来源: 科创项目库
基本信息
合作方式：
成果类型：
新技术,发明专利
行业领域：
新兴行业
成果介绍
利用超声波雾化技术，将液体雾化成细小的液滴，在气流带动下，在物质表面形成液体薄膜。可以在平坦表面或者沟槽表面（一般的旋涂工艺无法制备）制备薄膜，达到很高的均匀性，其主要用于高分子材料薄膜的制备。如用于IC制造的光刻胶薄膜、石墨烯薄膜、MEMS微结构薄膜等制备。
超声雾化喷涂的关键设备为超声雾化喷嘴，本项目来源于国家重大专项02专项，喷嘴主要用于实现光刻胶喷涂的均匀性，高频率的喷嘴设计制造技术目前仅美国Seno-tek公司掌握。
成果亮点
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专家点评
“科创中国”技术路演——新材料、智能制造专场 | 2022-03-15
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张宏兵
源起基金—首席分析师