高纯镓及氮化镓衬底材料产业化
发布时间: 2022-02-21
来源: 试点城市(园区)
基本信息
高纯镓及氮化镓衬底材料产业化项目是从高纯镓、镓合金(氧化镓、氮化镓、锑化镓)到氮化镓衬底的全产业链布局项目。目前,是全国、乃至全球唯一一家以“镓”金属为核心布局的---三代半材料企业。
高纯镓提纯工艺解决了工艺稳定性和效率问题;氮化镓衬底是公司独创专利工艺,采用多晶基板生长单晶薄膜的方法,从氮化镓粉末、基板成型、多晶材料生长、衬底薄膜生长技术。是完全不同于常规工艺,克服了异质衬底的不足,避免了热应力与晶格失配的问题,具有效率高、直径大的优势。
公司团队掌握了从高纯镓单质、多晶材料、衬底基板成型、强化,表面处理、二维膜沉积、晶体生长和晶体加工的全部技术,拥有完全自主的知识产权。公司拥有多项专利及技术秘密,同时正在超高纯镓、镓化合物及衬底、单晶、薄膜、外延等产品线建立专利池护城河。
华厦半导体通过自主研发,解决了多种高纯半导体材料的产业化生产技术,特别是设备及工艺自主创新。解决了高纯镓的产业化生产设备,以及氮化镓同质衬底的创新工艺。
华厦半导体通过“科技赋能”,在稀散战略金属上,规避中国稀土---没有卖出“稀有”的价格,而卖出 “土”的价格。同时,助力及参与中国拿回“镓、铟、碲”等稀散战略金属的定价权。