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一种微型甲烷传感器及甲烷检测方法

发布时间: 2022-02-17

来源: 试点城市（园区）

基本信息

合作方式： 技术服务
成果类型： 发明专利,新技术
行业领域：
采矿业
成果介绍

 一种微型甲烷传感器及甲烷检测方法，适用于甲烷检测、进一步的适用于煤矿井下的甲烷检测使用。该甲烷传感器包括一个加热元件、一个或多个测量元件，其加热元件单独加热到高温工作状态，与加热元件相独立的测量元件不施加外加电流或电压而直接测量电压用于检测瓦斯气体浓度。该甲烷传感器加工工艺与CMOS工艺兼容。其结构简单功耗低、灵敏度高、抗干扰性好、成本低。

成果亮点
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