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一种MEMS微泵测试系统

发布时间: 2022-02-16

来源: 科创项目库

基本信息

合作方式： 技术许可
成果类型： 实用新型专利
行业领域：
高端装备制造产业,制造业
成果介绍

本实用新型公开了一种MEMS微泵测试系统,包括,补液组件,贮液组件,控制模块和量测器;所述补液组件分别与所述贮液组件和待测微泵相连接;所述贮液组件分别与所述待测微泵和所述量测器相连接;所述控制模块与所述补液组件,所述待测微泵及所述贮液组件的控制端相连.本实用新型使用补液组件和贮液组件辅助进行MEMS微泵测试,能够测试较小的输出液体体积和流量,同时,通过控制贮液组件的压力,可测试MEMS微泵在不同压力下的输出液体体积和流量,且系统中使用了单向阀的设计,保证了测试过程中不存在液体倒流的情况,保证了测试精度.

成果亮点
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成果资料