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TDR-80A (B）型单晶炉

发布时间: 2021-12-30

来源: 试点城市（园区）

基本信息

合作方式： 作价入股
成果类型： 发明专利,新技术
行业领域：
新兴行业
成果介绍

TDR—80A型单晶炉是软轴提拉型人工晶体生长设备，是在惰性气体环境中以石墨电阻加热器将硅半导体材料熔化，用直拉法生长无位错硅单晶的设备，它可生产太阳能电池用的6"硅单晶和大规模集成电路所需要的高质量硅单晶。

成果亮点
团队介绍
成果资料