TDL-FZ35型区熔单晶炉 _科创中国

TDL-FZ35型区熔单晶炉

发布时间: 2021-12-30

来源: 试点城市（园区）

基本信息

合作方式：作价入股

成果类型：发明专利,新技术

行业领域：

高端产业

成果介绍

TDL-FZ35型区熔单晶炉，是在高纯氮气环境中，用单匝高频感圈加热，对多晶体棒进行区域熔炼，达到提供并用FZ法拉制高纯无位错大直径(3"～4")单晶硅的设备。获省级科技进步三等奖。

成果亮点

团队介绍

成果资料