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等离子式废气处理装置用于集成电路产线生产工艺过程中产生的易燃易爆、有毒有害等副产物气体无害化处理，防止其直接排放大气中，使处理后的废气排放达到绿色环保的要求。 此产品为集成电路制造专用废气处理设备，有效解决废气问题，减少废气在工作区域的滞留，确保人员、产线、环境安全。可广泛应用于半导体制造、液晶面板制造、LED、太阳能等相关行业。 等离子式废气处理装置与常规的燃气燃烧式废气处理装置不同，其以氮气为常压下产生等离子体的气源，同时生成高温环境进行废气的无害化处理，减少对天然气的使用和依赖，同时避免甲烷燃烧式产生温室气体的排放。 等离子式产生的温度(＞3000℃)远高于燃气燃烧式产生的温度(1000℃)，所以其对集成电路产线生产工艺过程中产生的PFC(温室效应)气体有卓越的处理效率。