科创中国

【技术开发单位】中国兵器工业集团公司北方夜视技术股份有限公司

【技术概述】该技术产品利用像增强器制造、微通道板制造和像增强器转移设备制造等优势技术， 突破阴极激活、电子清刷等关键技术，实现了高性能微通道板型光电倍增管（MCP-PMT）研制及产业化。采用 20 英寸（Φ508mm）的椭球玻壳作为球体，在球壳内部制作透射式双碱阴极，球壳内部下半球蒸镀

一层导电用铝膜，在球壳中心偏下方是光电倍增管的阳极组件，阳极组件主要由两片特制的高增益微通道板、阳极和聚焦极等组成。当光子通过透射阴极时，光子转换成电子，电子在微通道板型光电倍增管内部电场、聚焦极、屏蔽筒的共同作用下，汇聚于微通道板型光电倍增管中心后，被阳极组件中第一片微通道板收集，并经过两级微通道板放大 107 倍，微弱的电子信号被放大可探测的电信号，被置于微通道板末端的阳极接收到，并经过引线引出，读出电流，即实现了对单光电子的测量。技术开发单位完成了产业化技术研究，包括高性能微通道板批产技术、结构优化技术、零部件处理工艺、整管制作工艺、质量控制技术等。

【技术指标】

探测效率：≥ 25%；

单光电子谱的峰谷比（P/V）：≥ ***； 信号上升：＜ 3ns；

下降时间：＜ 14ns；

前脉冲比例（80ns 时间窗）：＜ 1%； 后脉冲比例（20µs 时间窗）：＜ 5%； QE 非均匀性：＜ 10%；

寿命：≥ 20 年。

【技术特点】该技术产品是一种将极微弱光信号转换成电信号的真空电子器件，与传统的金属打拿极型光电倍增管相比，采用微通道板作为电子倍增系统进行电子放大，具有单光子峰谷比高、后脉冲比例小、响应时间快等特点。

【先进程度】国内先进

【技术状态】批量生产、成熟应用阶段

【适用范围】适用于中微子探测实验、宇宙射线探测实验等科学装置以及医疗仪器、分析仪器等领域。

【专利状态】授权发明专利 1 项，申请发明专利 10 项。

【合作方式】合作开发

【预期效益】该技术产品产业化后，可以打破了国外技术垄断，预计在未来的 3 年内，可实现年

销售收入 5000 万元。