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氮气反应溅射制备CoCr/Ti极紫外多层膜人工晶体单色器

发布时间: 2021-11-16

来源: 科技服务团

基本信息

合作方式: 技术许可
成果类型: 发明专利
行业领域:
高端产业
成果介绍

       将“氮气反应溅射制备CoCr/Ti极紫外多层膜人工晶体单色器”技术成果应用于精密光学元件研究应用领域,作为最新研发的产品CoCr/Ti极紫外多层膜人工晶体单色器应用于“短波光学功能薄膜技术服务”。

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