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周期厚度横向二维梯度分布的Mo/Si多层膜

发布时间: 2021-11-16

来源: 科技服务团

基本信息

合作方式： 技术许可
成果类型： 发明专利
行业领域：
高端产业
成果介绍

        将“周期厚度横向二维梯度分布的Mo/Si多层膜”技术成果应用于精密光学元件研究应用领域，作为最新研发的产品极紫外Mo/Si多层膜单色器件。

成果亮点
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成果资料