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氮气反应溅射制备CoCr/Sb极紫外多层膜人工晶体单色器

发布时间: 2021-11-16

来源: 科技服务团

基本信息

合作方式： 技术许可
成果类型： 发明专利
行业领域：
新材料产业,制造业
成果介绍

        将“氮气反应溅射制备CoCr/Sb极紫外多层膜人工晶体单色器”技术成果应用于精密光学元件研究应用领域，作为最新研发的产品“氮气反应溅射制备CoCr/Sb极紫外多层膜人工晶体单色器”，并应用于“新型双面多功能纳米薄膜磁控溅射沉积设备”。

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