科创中国

微焦斑X射线管在生物成像、工业无损检测、实验室短波光源、材料分析、科学探测等领域都有广泛的应用需求。微焦斑X射线管技术涉及到电磁场技术、真空技术、核技术等众多交叉学科，研制难度大，关键工艺多，目前国内的微焦斑X射线管几乎全部依赖进口，粗略估计国内在这方面进口设备费用每年超过数十亿元人民币。

针对上述国内的产业现状，以及在X射线空间科学领域的长期技术积累，中科院国家空间科学中心于2020年度研制完成了基于静电透镜+电磁透镜聚焦的反射式微焦斑X射线管工程样机， X射线焦斑直径5微米左右，管电流最大400微安，X射线光子能量和射线强度连续可调。该样机是国内首台基于电磁透镜聚焦的反射式微焦斑X射线管，达到了国际先进水平，并且具有自主知识产权，已申请/正申请国家发明专利近10项，研究团队计划携该成果参加2020年度深圳高交会。

该微焦斑X射线管不仅能产生X射线，通过优化靶材和加速电压，还能够产生***或者***高强度极紫外射线，满足极紫外光刻机的光源需求。相比ASML极紫外光刻机的***液态靶光源，我们采用的反射式固态靶，在维护、成本、光源稳定性方面更具优势。希望能有机会获得北京市科委的支持，开发专门服务于光刻机的二代产品，完成微焦斑大功率***或者***极紫外光刻机光源。不仅如此，该技术也是高端电子显微镜、显微透视成像、先进电子源的最核心技术，市场前景极为广阔，进一步开发应用将填补国内在高端仪器领域的多项空白。