科创中国

本成果利用激光与物质相互作用的非线性效应，突破经典光学衍射极限限制，采用可见和近红外波段的超快激光作为光源，结合激光直写、无掩模投影、复合光场曝光等技术方法和手段，实现了纳米尺度、纳米精度、微纳跨尺度结构的多模式加工，通过与高精密工件台技术、精密测量技术、软件控制技术集成，研发出了多台套高端光学微纳加工科学仪器样机。

作为新原理光学微纳加工方法与技术，本成果拥有完全的自主知识产权，所发展的科学研究实验装置，已为多项国家级科研项目提供技术服务，完成了技术验证。

本成果所要发展的光学微加工科学仪器可广泛应用于高等院校、科研院所、企业研发机构的前沿科学研究和高技术研发，具有广阔的市场前景。本成果已获国际专利授权7项，国内发明专利授权7项。