科创中国

 该项目主要技术内容：该项目通过计算机数值模拟和实验对比研究，优化喷嘴和沉积板结构与形状的设计，获得沉积室反应气合理的流动状态流型；精确控制沉积温度，稳定表面反应速率，实现质量输运控制；研究载气和各反应气体组分流量及组分比例对反应气体流型和CVD ZnS体材料化学计量配比的影响，获得高质量CVD ZnS多晶材料；通过CVD ZnS多晶的热等静压透明化处理，获得高致密和光学性能优异的多光谱CVD ZnS多晶材料。经过五年技术研究，已经突破大尺寸多光谱ZnS材料生长、关键性能提升和大面积材料性能一致性等关键技术，研制出尺寸为540×340×15mm多光谱ZnS窗口。本项目采用化学气相沉积技术制备大尺寸多光谱硫化锌红外材料属国内首创，填补空白。主要指标参数处于国内领先，国际先进。有研国晶辉公司在2014-2016年，红外窗口材料累积实现销售额近8000万元。通过本项目实施，CVD ZnS材料透明化处理技术推动相关红外光学材料制备技术的进步；公司已形成具有我国自主知识产权的硫化锌窗口材料制备及其加工制造的相关产业，奠定了多光谱和毫米波-红外多模复合制导技术材料发展的基础。随着国内、国际市场急速发展，社会效益和经济效益进一步凸显。