科创中国

本成果针对非接触测温传感器红外吸收波段窄、响应度低、可靠性较差问题，提出了一种具有宽红外吸收光谱、响应度高、可靠性高的红外温度传感器技术方案，可用于非接触测温产品，包括额温枪，耳温枪以及工业、安防、家电、汽车等领域。热电堆红外温度传感器因其体积小、成本低、灵敏度高等优点，在非接触测温技术领域有着重要的应用价值和广泛的应用前景。本成果研制生产的热电堆红外温度传感器热偶材料采用塞贝克系数较高的P型和N型双多晶硅复合结构，在提高传感器响应度的同时，减小了芯片面积，易于批量生产；通过设计优化热偶结构布局，增加复合红外吸收层，拓宽了红外吸收区域与波段，有效提高了红外吸收率，进一步提高了传感器响应灵敏度；通过设计匹配复合支撑薄膜应力，在减小芯片热导率的同时，提高了传感器的抗振动特性以及产品的整体可靠性。