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光学薄膜的激光损伤是影响高功率激光器提高激光输出功率的关键因素之一。光学薄膜的激光损伤不仅降低激光的输出质量，造成光束波前和相位畸变，而且调制激光光束，对激光器造成灾难性损坏。随着对激光器输出功率要求的不断提高，相应的光学元件要求承受的激光通量也越来越大。提高光学元件激光通量承受能力即提高激光损伤阈值是目前急需解决的提问。限制光学元件激光损伤阈值的瓶颈是膜层的损伤阈值尤其是高反射膜损伤阈值。目前，提高损伤阈值的途径主要有以下几种：(i)改善镀膜工艺，(ii)寻找具有更高损伤阈值的镀膜材料，(iii)膜层激光预处理等。为了真正能实现损伤阈值有质的提高，必须突破现有的膜系结构设计理论体系或框架；同时也必须探索损伤的机理，研究新工艺和技术。只有这样才有可能大幅度地提高膜系的损伤阈值。本技术就是要提高光学薄膜的激光损伤。