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表面及亚表面一体化共焦立体显微测量仪

发布时间: 2021-11-03

来源: 科技服务团

基本信息

合作方式： 股权融资
成果类型： 发明专利
行业领域：
高端产业
成果介绍

       表面及亚表面一体化共焦立体显微测量仪是用于微、纳米尺度结构表面形貌及亚表面缺陷高精度三维测量的尖端装备仪器。其中申请人国际首创的暗场共焦显微测量方法为该设备的核心知识产权，前期已经完成国际标准布局并实现工程样机出口英国。通过成果转化其可以提高军工半导体工业芯片封装、国防工业高能激光诱导核聚变高能透镜、下一代军用对地观测卫星光学系统大口径自由曲面光学透镜的表面质量控制和亚表面缺陷检测能力。

成果亮点
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