空间原子层沉积（SALD）系统 _科创中国

空间原子层沉积（SALD）系统

发布时间: 2021-11-03

来源: 科技服务团

基本信息

合作方式：合作开发

成果类型：发明专利

行业领域：

新材料产业,制造业

成果介绍

荷兰企业，霍尔斯特中心和荷兰应用科学研究组织（TNO）的分支机构，旨在进一步开发、制造和销售商用空间原子层沉积（SALD）系统，并将其应用于平板显示行业。

成果亮点

团队介绍

成果资料