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用于真空环境的精密磁浮导轨运动台

发布时间: 2021-11-02

来源: 科技服务团

基本信息

合作方式： 合作开发
成果类型： 发明专利
行业领域：
高端产业
成果介绍

精密运动台是半导体装备的核心子系统。下一代半导体光刻和检测装备不仅要求运动台有更好的的性能和可靠性，还把真空适应性和洁净度提高到一个必须的基本要求，传统的基于机械导轨和气浮导轨的运动台将不能满足需求。本成果发明了一种磁浮导轨运动台，可实现完全的磁悬浮精密运动：主动控制、无接触、无摩擦、高精度、无颗粒污染、真空适用；跟现有磁浮运动台相比，它有大负载、长行程可拼接的优点，完全满足未来需求。

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