多晶硅纳米薄膜耐高温压力传感器 _科创中国

多晶硅纳米薄膜耐高温压力传感器

发布时间: 2021-09-30

来源: 试点城市（园区）

基本信息

合作方式：合作开发

成果类型：新技术

行业领域：

新一代信息技术产业,信息传输、软件和信息技术服务业

成果介绍

通过省创新团队项目的研究，确定了制备具有最佳压阻特性多晶硅纳米薄膜的关键工艺条件，给出了多晶硅纳米薄膜应变电阻的制作方法，采用多晶硅纳米薄膜作敏感材料设计并试制了耐高温压阻式压力传感器。该项目成果填补了国内外空白。

成果亮点

团队介绍

成果资料