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本发明提供一种光栅制备在线监测方法及系统，其中方法包括以下步骤：将一个扫描周期内采集的等间距光栅阵列数据组成j·i矩阵，该矩阵的行代表波长步进，列代表采样点，j为波长步进总个数，i为所有采样点个数；对j·i矩阵逐列进行寻峰，得到光栅的实际位置，根据m个光栅的空间位置信息，将等间距光栅阵列数据矩阵中对应位置的m列数据取出，得到j·m矩阵，对其每一列数据进行累加，得到一个新的1×i的矩阵[n1 n2…ni]，其中ni是由j个数据点组成，对于每一个ni，依次比较λ1‑i～λj‑i，得到每一列的最大值为[x1 x2…xi]；假设扫描光源起始波长设置为λ0，则待测光栅波长为[λ1 λ2…λi]，其中λi＝λ0+xi/1000；对所有待测光栅波长取加权平均值得到平均波长值，进一步得到待测光栅波长与平均波长差值；将该波长差值逐次与标准差值Δ比较，若波长差值大于标准差值，则该光栅波长异常。