本发明公开了一种集成晶体光波导的制备方法,首先选取无杂质、无色透明的晶体,选定晶体的尺寸并利用激光对晶体进行切割;接着利用软件设计并优化所需光波导的参数,并对光波导进行模式分析和弯曲处的损耗计算,以确定光波导在不同的芯径下的传输模式和传输损耗;利用飞秒激光按照设计好的光波导并根据晶体材料调整飞秒激光的参数,对晶体进行刻画,得到集成晶体光波导;若在晶体的深部刻画光波导,则在两块晶体表面各刻画一半光波导,再将两块晶体固定,形成完整的光波导。本发明提供的集成晶体光波导制备方法,实现了高精度的集成光波导制备,适用于大多数晶体材料。