一种用于激光探针成分分析仪的光路系统
发布时间: 2021-08-30
来源: 科技服务团
基本信息
链接文字本实用新型属于激光精密检测相关技术领域,其公开了一种用于激光探针成分分析仪的光路系统,所述光路系统包括光谱采集模块及成像模块。所述光路系统还包括激光控制模块、激光监测模块及照明模块,所述光谱采集模块、所述激光控制模块、所述激光监测模块、所述照明模块及所述成像模块是同轴设置的。所述激光控制模块用于控制激光能量及光斑;所述激光监测模块用于实时监测激光能量;所述光谱采集模块用于实时采集等离子光谱;所述照明模块用于对待测样品表面进行照明,以保证所述待测样品的表面清晰可见;所述成像模块用于对所述待测样品表面成像。所述光路系统同时实现稳定的光谱信息采集和清晰的表面成像。