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三维IC芯片中玻璃微通孔（TGV）的微加工技术

发布时间: 2021-08-27

来源: 科技服务团

基本信息

合作方式： 技术许可
成果类型： 发明专利
行业领域：
科学研究和技术服务业
成果介绍

"具体成果分为以下三个方面：（1） 装备系统——飞秒激光刻蚀石英玻璃微型通孔的实验系统（已搭建）（2） 通过调控飞秒激光参数、工艺参数， 实现对石英玻璃微孔直径D、锥度 α、微裂纹ΔL 的精细控制。在实验中， 通过调制激光器相关参数和加工工艺等参数， 我们已经实现了飞秒脉冲激光刻蚀石英玻璃的微型通孔，并且其通孔的背面直径小于 10μm。"

成果亮点
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成果资料