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金刚石涂层刀具

发布时间: 2021-08-26

来源: 科技服务团

基本信息

合作方式: 技术许可
成果类型: 发明专利
行业领域:
新材料产业,制造业
成果介绍

超大规模集成电路用电子化学品处于集成电路制备产业链的前端领域,是集成电路制备中必备的基础化工原料。集成电路仍然依照摩尔定律在发展。前端技术开发已经进入12寸,14纳米的范围。这对与之配套的高纯电子化学品也提出了越来越高的要求。当前SEMI标准中,高纯电子化学品的最高需求为10ppt,国际上先进高纯电子化学品厂商产品品质可以达到1ppt的水平。近年来,国内的高纯电子化学品的生产技术已经有了很大提高。少数厂商的少数产品已经可以达到100ppt的水平,大部分厂商的大部分产品还处于1ppb以上的水平。因此,国内的集成电路厂商的高纯电子化学品几乎全部靠进口解决。超大规模集成电路用高纯电子化学品的价格、货期等受到了较大的影响。

成果亮点
团队介绍
成果资料