高精密激光划片工艺技术及装备研究 _科创中国

高精密激光划片工艺技术及装备研究

发布时间: 2021-07-27

来源: 试点城市（园区）

基本信息

合作方式：合作开发

成果类型：发明专利

行业领域：

新材料产业,制造业

成果介绍

本项目围绕高精密激光划片工艺技术及装备研发需求，攻克了微水束激光耦合、高精密运动校制等2项关键技术，搭建了高精密激光划片工艺装备实脸平台，研制出12英寸高精密水束光纤耦合激光划片机产品

成果亮点

团队介绍

成果资料