本发明公开了一种气体增压计量装置,特别涉及一种超临界流体的增压发生与精确计量装置。该装置由过滤器,四个截止阀,三个电磁阀,调压阀,三个压力表,气体增压泵,排气阀,安全阀,三个压力传感器,两个超临界流体储罐,先导阀,电子压力控制器,气控调压阀,定量阀,旁通阀,溢流阀,控制单元,触摸屏操作界面以及连接上述部件的压力管道和通信电线或电缆组成。本发明提出的装置优点在于实现发生和计量一体化,增压泵以气体驱动,采用PID控制泵的自动开闭;计量系统采用旁通回流方式,回流气体重新增压利用;计量系统内流体始终循环流动,解决因截断通路而造成的压力突变。