科创中国

                                    成果主要内容和简要说明

基础零部件表面的光整质量水平直接决定着重大装备和主机产品的质量、寿命和可靠性。然而，针对基础零部件光整加工技术仍存在加工效率低、工序多、环境不友好等问题，导致高表面质量的基础零部件长期依赖于进口。因此，研制适用于基础金属零部件表面的高效、无/低损伤、批量化、安全和环保的精密光整加工技术是本行业亟需解决的难点之一。本成果依托各类国家和省部级项目，历经十余年攻关，攻克了多项关键技术，提出了化学机械抛光（CMP）中材料单分子层去除机理、润滑/缓蚀双层结构调控方法、磨料/基体微观接触行为控制等理论和方法，掌握了化学与机械的协同机制、复合缓蚀剂的电化学作用、磨粒与工件的弹塑性接触行为控制等关键光整技术，发展出了碳钢、铝合金和不锈钢等金属材料的高效批量超精密光整加工工艺，研制了金属无尘精密光整加工装备，避免了金属粉尘爆炸的危险，满足了装备制造业对基础金属零部件表面光整的国际先进水平严苛要求的需求，一道工序完成清洗、除油、去氧化皮、除锈和抛光，环境效益显著，相关研究成果已被广泛应用于汽车、纺织、精密模具、数码产品、食品装备等加工领域。