半导体长晶炉用高纯轻质碳/碳复合热场材料 _科创中国

半导体长晶炉用高纯轻质碳/碳复合热场材料

发布时间: 2021-03-18

来源: 科技服务团

基本信息

合作方式：股权融资

成果类型：新技术

行业领域：

新材料产业,制造业

成果介绍

利用高温卤素纯化法制备了半导体长晶炉用高纯轻质碳/碳复合热场材料，产品性能对标SGL公司。

成果亮点

团队介绍

成果资料