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科学新技术发展对真空度测量传感器提出愈来愈苛刻的要求，本产品来源于许多装备制造尤其是军工、航空航天、生物医药方面对真空测量的要求而研制。采用最新电容薄膜规技术和多项新工艺。主要技术指标：微功耗：<3mw;微辐射能（指标待定）；真空度量程***～10000Pa、***、***（绝对真空压力值）；精度等级：***级；工作环境：大气压～真空（103Pa）；可以长期工作在真空环境中（卫星内部环境真空度测试等等）；由于该产品功耗极低，故具有极佳防爆性能，在医药化工、新材料制造等等方面有独特的应用，派生出的高精度防爆抗腐蚀型产品，为新能源、新材料、精细化工的真空分子蒸馏等等行业提供了比较理想的真空测量元件。高精度的真空压力传感器，尤其是高精度薄膜真空规传感器是西方国家对我国限制销售的产品，该项目的研制现在已经可以部分取代进口同类产品，在某些特殊功能（如抗腐蚀、防爆性能）方面，填补了高精度真空测量的空白。