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基于SPR技术的微纳米级表面形貌检测

发布时间: 2019-05-08

来源: 科创中国_资源共享平台

基本信息

合作方式: 合作开发
成果类型: 著作权
行业领域:
其他
成果介绍
由于基于SPR技术的传感器具有高灵敏度、高精度、实时性、抗干扰性强等优点,已经被广泛应用于生物检测、环境监测、食品安全等领域。目前SPR技术普遍采用三层薄膜、接触式测量,主要应用于传感器及生物检测等领域。本项目技术采用四层薄膜结构,对材料表面可以实现非接触光学测量,对样品无损伤,抗干扰性强。利用微动平台可实现较大量程的横向扫描,纵向测量精度可以达到1nm。采用线型光源能够实现面扫描,扫描速度快。采用特殊的图像处理及分析算法,可实现实时在线检测。本技术采用独特的光学设计及测量方法,将SPR传感技术应用到材料表面形貌测量,能够有效克服现有检测手段的缺点,而且具有自主知识产权及核心技术,可以摆脱对进口产品的依赖,在材料科学研究及精密制造等领域具有广阔的应用前景及市场价值。
成果亮点
团队介绍
成果资料