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应用单缝衍射原理和CCD技术，采用了新的光路系统和数据处理方法，具有功能多、体积小、操作方便、非接触测量、测量精度高等特点。利用此仪器的不同附件或装置，可分别实现对尺寸、形状误差、位置误差、表面粗糙度及外锥角等的测量。其中尺寸方面可测量微小孔直径、细丝直径，弹性件的内、外径及长宽高尺寸、轴的直径及微小薄片的厚度、外锥角等；在形位误差方面可测量直线度、圆度、圆柱度、平行度、垂直度、倾斜度、同轴度、对称度及跳动等误差；在表面粗糙度的评定参数中可以测量轮廓间距及加工时的走刀量（条件是纹理规则的车、铣、刨等加工方法获得的平面、圆柱面）。多功能激光测量仪集机、光、电于一体，采用了新的光路和最新的测量方法，实现了多种参数、多个项目的测量，有极好的应用和推广价值,市场前景广阔。