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钇铝石榴石(YAG)透明陶瓷

发布时间: 2019-05-08

来源: 科创中国_资源共享平台

基本信息

合作方式: 合作开发
成果类型: 著作权
行业领域:
新兴行业
成果介绍
钇铝石榴石(YAG)透明陶瓷是重要的激光基质和发光基质材料,同时,它在可见中红外波段透过率高,是高温窗口或中红外光学窗口、半球形整流罩的重要候选材料。此外,它还具有极佳的抗等离子体侵蚀性能,在半导体刻蚀装备如等离子体刻蚀机中具有重要的应用价值。上海硅酸盐研究用冷等静压成型工艺,成功制备出直径达235mm、厚度***的YAG透明陶瓷圆板,在400nm和1100nm处的直线透过率分别达80%和83%,光学质量优异,是国际上公开报道的最大尺寸的、高光学质量的YAG透明陶瓷;通过近净尺寸成型工艺,分别制备出高光学质量的、直径达85mm和210mm的YAG透明陶瓷球罩样品,填补了我国在YAG透明陶瓷光窗/头罩研究方面的空白。
成果亮点
团队介绍
成果资料