场发射扫描电子显微镜(SEM) _科创中国

场发射扫描电子显微镜(SEM)

发布时间: 2021-01-04

来源: 科创项目库

基本信息

合作方式：技术服务

成果类型：发明专利

行业领域：

新兴行业

成果介绍

场发射扫描电子显微镜（FieldEmissionScanningElectronMicroscope）是半导体分析实验室最广泛使用的表面分析仪器之一。扫描电镜样品制备简单方便，观察结果直观，放大倍数范围宽(<20到＞30万倍），可观察二次电子或背散射电子图像，结合能谱仪(EDS)或波谱仪(WDS)可进行微区（亚微米级）成份分析。

成果亮点

团队介绍

成果资料