硅光先进制造工艺技术及其应用

硅光先进制造工艺技术及其应用由联合微电子中心自主开发,在硅基光电子先进制造工艺技术及其应用上取得重大突破,面向全球发布国内首款基于CMOS平台的设计工具包PDK,并搭载国内针对硅基光电子芯片的EPDA设计软件和基于紧凑模型的器件IP库,核心指标达到国内领先、国际先进水平,解决了国内硅基光电子流片工艺平台缺乏和成套技术受制于人的局面。发布两年多以来,累计为百余家海内外机构和团队提供服务,并支持了多个核心业务的国产芯片的替代进程。 以硅基光电子为代表的光电子集成技术,在数据中心、5G通信、生物传感、微波光子、人工智能等领域有着巨大的应用前景以及现实的应用需求。公司大力布局高速硅光引擎、固态激光雷达、光子AI计算等多个领域和技术方向,助力硅基光电子产业飞速发展。针对数据中心光模块应用需求,CUMEC基于自主工艺平台,开发了高速收发引擎,实现了光源、硅光发射芯片、探测器芯片、驱动电芯片的系统集成,硅光芯片有源和无源器件性能都得到大幅提升。针对无人驾驶、车路协同等领域对高性能固态激光雷达的发展需求,CUMEC与产业界合作共同推动技术的发展和落地。