科创中国
钨蚀刻液
发布时间:
2022-11-23
来源:
试点城市（园区）
截止日期:2023-11-23
价格 双方协商
地区： 河南省 濮阳市 华龙区
需求方： 迈奇***公司
行业领域
精细化工
需求背景
钨蚀刻液由双氧水、无机酸、有机碱、二乙二醇单丁继、金属离子掩蔽剂和去离子水组成。我们发展的主要方向之一就是湿电子化学品，而且我们已经在该领域占据一席之地，规划在给领域谋求更宽广地发展。
需解决的主要技术难题
1、根据器件制备的性质或根据蚀刻溶液的性质，有时使用仅去除钨或钨合金并抑制对阻挡层(诸如氮化钛)的蚀刻的工艺
2、用于制造半导体器件、液晶显示器和mems器件的工艺中，已经需要开发蚀刻溶液组合物
3、蚀刻量发生变化、蚀刻速率满
期望实现的主要技术目标
1、能够高效蚀刻金属钨
2、避免蚀刻液PH的大幅波动，对金属钨的蚀刻速率及蚀刻稳定性造成波动
3、将双氧水的pH值调整至大于4，其蚀刻速率快，但是在蚀刻液的蚀刻中后期，其pH值会随着钛钨合金于蚀刻液中的溶解量增加而下降
需求解析
解析单位：河南省濮阳市 解析时间：2022-11-28
张付杰
濮阳市化学化工学会
秘书长
综合评价
此项需求从内容上来看比较清晰，钨蚀刻液由双氧水、无机酸、有机碱、二乙二醇单丁继、金属离子掩蔽剂和去离子水组成。目前这个需求指向性很明确，可以推送给北京化工大学、中科院过程所和北京包装协会等相关领域的科研院所和专业团队，然后组织对需求有对接意愿的专家和企业对接，针对技术需求进行深入的磋商和沟通，共同研究出相应的对接方案和技术解决路径，最终解决此项需求。
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处理进度
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提交需求2022-11-23 17:39:56
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确认需求2022-11-27 14:53:08
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需求服务2022-11-27 14:53:08
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需求签约
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需求完成
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